說明:
Measuring the Nearly Immeasurable不可思議的晶圓厚度測量 在柏林費(fèi)迪南德布勞恩研究所生產(chǎn)的半導(dǎo)體激光和高頻放大器晶圓必須達(dá)到一個(gè)極度精密的層厚度。潔凈室工人使用Werth多傳感器坐標(biāo)測量機(jī)監(jiān)督這個(gè)過程。該機(jī)配有色差傳感器,準(zhǔn)確的無接觸捕捉所需的測量元素。 在柏林的費(fèi)迪南德布勞恩研究所、萊布尼茲研究所。共有220名員工,其中包括110名科學(xué)家。開發(fā)和生產(chǎn)用于材料加工、和精密測量技術(shù),以及其他二極管激光器產(chǎn)品。另一個(gè)是通信技術(shù)、電力電子技術(shù)和傳感器的高頻零件的生產(chǎn)?!霸摪雽?dǎo)體激光器具有低的安裝高度,以及高精度的拋光和接觸力,”工藝技術(shù)部的Dr.AndreasThies說這些。雖然這樣的激光不大于一粒米,但它可以輸出高達(dá)20瓦的連續(xù)波操作,或100瓦的快速脈沖波。激光在光盤中的大約是5000到25000倍。這些特點(diǎn),伴隨著在極端條件下的高可靠性,使得FBH激光器享譽(yù)全球。他們甚至在外太空試驗(yàn),例如,在下一代GPS衛(wèi)星的原子鐘。光學(xué)有許多領(lǐng)域的應(yīng)用案例。在醫(yī)學(xué)技術(shù)中,他們通過開啟一種準(zhǔn)確定義的波長和受影響的被破壞細(xì)胞,在“Zhongliu”細(xì)胞中建立的“Yaowu”來幫助“Zhiliao”的光動(dòng)力療法。進(jìn)一步的應(yīng)用包括光學(xué)精密測量,工業(yè)測量和材料處理(粘接、焊接、雕刻)。 晶圓的各種加工過程 微波技術(shù)的研究和開發(fā)工作和光電是對(duì)基本技術(shù)的基礎(chǔ)上完成的。利用外延(在單晶底面上放置的單晶半導(dǎo)體層),與所需的極薄的層的特征材料組裝在硅晶圓上。使用現(xiàn)代工藝,晶圓要進(jìn)一步加工,加工流程包括光刻方法,濕法和干法刻蝕工藝和金屬化的步驟。約2000片與微波電路,或10000個(gè)激光芯片,能夠組裝成4英寸晶圓。 不可思議的晶圓厚度測量 圖1在潔凈室里:員工使用3D多傳感器坐標(biāo)測量機(jī),采用色譜聚焦傳感器測量晶圓厚度 在技術(shù)人員將芯片從晶圓分離并且把它們組裝到光電或者高頻原件...
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線色譜傳感器—高速下的高精度 WERTH為2017年Control展隆重推出新研發(fā)的傳感器系列:線色譜傳感器(ChromaticFocusLineSensor,CFL)。其可以快速采集整個(gè)零件的幾何形狀。通過選用不同的物鏡,調(diào)節(jié)測量誤差和測量范圍來適應(yīng)各種應(yīng)用需求。通過大的軸向測量范圍,不需要針對(duì)零件幾何形狀的可控的補(bǔ)充。以便通過掃描,快速并大面積獲取零件幾何形狀。針對(duì)表面有高度變化的零件可以采用3D仿樣進(jìn)行掃描。線色譜傳感器可以用于測量漫反射、鏡面和透明零件以及有較大傾斜角的零件表面。 CFL在零件表面投影一排約200個(gè)白色光點(diǎn)。從零件表面反射回的光線將通過光譜分析,確定傳感器和零件表面之間的距離。通過新的線傳感器創(chuàng)新次實(shí)現(xiàn)了高速并且高精度地、完整地采集零件3D數(shù)據(jù)。僅僅用3秒鐘就能夠測量100萬個(gè)測量點(diǎn)。 線色譜傳感器還具有另一個(gè)有趣的功能:反射回的光的波長強(qiáng)度被分析評(píng)估,并創(chuàng)建零件表面的柵格圖像。其后續(xù)的分析評(píng)估允許通過圖像處理軟件“在圖像內(nèi)”確定零件坐標(biāo)系或者測量幾何特征。在此基礎(chǔ)上,由于位置的確定,可以不需要傳感器轉(zhuǎn)換就使用各種其他傳感器進(jìn)行測量。 在快速的測量速度下,CFL的測量準(zhǔn)確度允許測量精密零件和微特征。該傳感器不僅可以用于鏡面或者透明零件如沖壓印模或者硬質(zhì)合金及金剛石刀具的測量,也可以用于漫反射的塑料零件的測量。通過高點(diǎn)密度來確定不同表面的形貌。例如微機(jī)械零件手表表盤。CFL的另一個(gè)典型應(yīng)用是在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,在生產(chǎn)工序中,對(duì)于LED陣列的共面的測量。作為測量結(jié)果,是以點(diǎn)云的形式體現(xiàn)零件表面的完整形狀,借此測量平面度或者粗糙度以及幾何元素。也可以用顏色編碼顯示出理論實(shí)際值偏差。 線色譜傳感器—高速下的高精度 線色譜傳感器測量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的顏色編碼偏差顯示 線色譜傳感器—高速下的高精度 手表表盤的柵格圖像.線色譜傳感器測量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的...
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用戶是一家全球的汽車行業(yè)一級(jí)供應(yīng)商,以研發(fā)和制造傳動(dòng)系統(tǒng)聞名于世。現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測試 需求 改進(jìn)工藝標(biāo)準(zhǔn)和簡化操作者影響 隨著軟車削和切割操作,傳動(dòng)系統(tǒng)中的軸和齒輪在進(jìn)行爐熱處理,表面淬火硬化。 在表面硬化時(shí),部件的表面層首先經(jīng)過碳富集然后硬化。這增加了表面層的硬度,從而增加的抗壓強(qiáng)度和疲勞強(qiáng)度,以及耐磨損性。樣品的核心保持韌性,具有較高的強(qiáng)度,因此抗沖擊-傳動(dòng)系統(tǒng)的基本特征。 進(jìn)行回火作為硬化過程的一部分?;鼗鹕晕p少了硬度,并大大提高了屈服強(qiáng)度(韌性)。 快速和簡單的質(zhì)量和過程控制,每個(gè)批次部件,必須在熱處理工藝后立即測試。同時(shí),要求改進(jìn)工藝標(biāo)準(zhǔn)。該批次的分類必須在未來隨時(shí)能夠調(diào)用,所有相關(guān)數(shù)據(jù)必須自動(dòng)保存。 現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測試 硬度測試機(jī)符合如下需求: 1.多種部件,根據(jù)生產(chǎn)線:各種不同形狀和尺寸需要測試。 2.操作進(jìn)程速度:掃描部件條碼,硬度測試機(jī)從數(shù)據(jù)庫檢索測試方法,并返回測試結(jié)果。 3.簡化使用者操作:由QA軟件分配測試工件,并將測試結(jié)果通過RS232接口傳輸?shù)絈A軟件。 4.硬度測試機(jī)操作簡單:多個(gè)操作工對(duì)多條生產(chǎn)線進(jìn)行硬度測試,無需復(fù)雜培訓(xùn)。 5.輕、緊湊:由于硬化車間的空間限制,硬度測試機(jī)不應(yīng)該占用較大空間。 解決方案 DuraJet10G5簡單快速 現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測試 一臺(tái)Durajet10被放置在每一個(gè)生產(chǎn)線。由于電子壓載控制系統(tǒng)主要載荷從1到250kgf,單臺(tái)設(shè)備即可覆蓋整個(gè)洛氏范圍??稍谏a(chǎn)線上直接快速測量表面硬度。 此外,在300x740x565mm的Durajet是緊湊和輕量的硬度計(jì)。因此,它不需要很大的空間。由于高精度測試頭,廣泛的部件可以夾緊和測試。 使用串行接口(RS232)可進(jìn)行完整的數(shù)據(jù)管理。所有數(shù)據(jù)以ASCII格式輸入和輸出。因此,所有數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出到該公司的QA軟件,在那里進(jìn)一步處理。由此,數(shù)據(jù)不再丟失。...
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行業(yè)需求光學(xué)產(chǎn)品、玻璃及玻璃制品應(yīng)用領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)室客戶主要產(chǎn)品: 雙筒望遠(yuǎn)鏡,望遠(yuǎn)鏡,望遠(yuǎn)鏡瞄準(zhǔn)器 用戶是全球的狩獵、觀景的光學(xué)產(chǎn)品提供商。需求陽極氧化層和玻璃硬度測試 需求 陽極氧化和玻璃硬度測試 陽極氧化涂層是鋁上的氧化保護(hù)層。在創(chuàng)新步,鋁制部件脫脂并酸洗。酸洗出去薄的天然氧化物層,其后是實(shí)際的陽極氧化。然后將新制備的多空層著色并隨后密封。陽極氧化是使用直流和酸性電解質(zhì)進(jìn)行的電解過程。再次密封該層,以防止腐蝕導(dǎo)致物質(zhì)沉積,并收縮閉合孔。陽極涂層表現(xiàn)出極高的硬度,耐磨。這些黑色涂層也表現(xiàn)出好的耐腐蝕特性,它們通常用作裝飾涂料。這些應(yīng)用的挑戰(zhàn)是找到正確的陽極涂層測試方法,因?yàn)樗鼈円环矫姹?,另一方面它們暗。此外,還需要對(duì)玻璃進(jìn)行測試,因?yàn)椴Aг趦?nèi)部測試的過程中測試,這里必須哪些測試方法是合適的。還可以自動(dòng)生成針對(duì)客戶要求的報(bào)告。解決方案DuraScan 20因?yàn)殛枠O涂層薄,所以只能使用低試驗(yàn)力。使用努氏HK0.01方法,我們已經(jīng)成功地直接對(duì)涂層進(jìn)行了測試。努氏壓痕不能深入滲透材料,適用于薄涂層。努氏方法用于玻璃硬度測試也是合適的,使用的測試方法取決于玻璃。使用DuraScan20可以進(jìn)行努氏和維氏測試,負(fù)載范圍從10g到62.5kg。配置了維氏和努氏壓頭,自動(dòng)轉(zhuǎn)塔配有三個(gè)鏡頭,覆蓋了整個(gè)負(fù)載范圍。自動(dòng)亮度控制可以在黑暗的表面進(jìn)行測試。測試報(bào)告是根據(jù)客戶要求量身定制的。因此可以在測量結(jié)束時(shí)自動(dòng)生成報(bào)告。為什么選擇EMCO-TEST?硬度測試機(jī)的獨(dú)特設(shè)計(jì)引起了客戶的興趣,他們對(duì)DuraScan20印象深刻。電動(dòng)Z軸設(shè)計(jì),向前邁出了一大步,大大減輕了工作量。 “轉(zhuǎn)塔超級(jí)棒!當(dāng)測試陽極氧化涂層時(shí),通常需要多次測量以找到測試負(fù)載。如果我每次都要在壓頭和鏡頭之間轉(zhuǎn)換,會(huì)浪費(fèi)大量時(shí)間。就這樣,一切都是自動(dòng)的,真的很快!此外我有不同的光學(xué)鏡頭在轉(zhuǎn)塔上,因此將節(jié)省更多時(shí)間。我還發(fā)現(xiàn)這臺(tái)設(shè)備性價(jià)比極...
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近年來,計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)的發(fā)展集中于大型零件和難以穿透的物質(zhì)的高分辨率測量的研發(fā)。為此,必須使用大型和重型坐標(biāo)測量機(jī)。X射線管產(chǎn)生了2個(gè)分支:封閉式射線管在2到3年后必須更換;開放式射線管每年必須進(jìn)行多次保養(yǎng)。這導(dǎo)致了頻繁停機(jī)以及高昂的維保費(fèi)用。 小工件工業(yè)CT無損高精密測量絕配-TomoScopeXS TomoScope®XS綜合了不同類型設(shè)備的很多的優(yōu)點(diǎn),具有獨(dú)特性。 TomoScope®XS是一款小尺寸高科技的機(jī)器。新的設(shè)備類型綜合了不同類型設(shè)備的很多的優(yōu)點(diǎn),具有獨(dú)特性。創(chuàng)新次以直板設(shè)計(jì)出現(xiàn)的穿透式射線管具有小焦點(diǎn)大功率的特性,可以實(shí)現(xiàn)快速并且高分辨率測量。新的X射線管結(jié)合了封閉式和開放式微焦點(diǎn)射線管的優(yōu)點(diǎn)。X射線管、發(fā)電機(jī)和真空發(fā)生器的直板設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了開放式結(jié)構(gòu)。使得維保周期延長并且理論是實(shí)現(xiàn)了無限的使用周期。停機(jī)時(shí)間和運(yùn)營成比得到了減少。大的管電壓可以達(dá)到130kV或者可選160kV,可以用于測量較大和高密度材質(zhì)的零件。通過氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)使得零件可以高精度定位,減少測量誤差。 由于緊湊的設(shè)計(jì),縮小了相應(yīng)的尺寸并且減少了重量,TomoScope®XS幾乎可以被放置在場所。低購置成本和運(yùn)營成本實(shí)現(xiàn)快速的收益。面向未來的理念為升級(jí)到160kV的管電壓以及80W的功率提供了可能性。 如同WERTH的所有CT設(shè)備一樣,TomoScope®XS在采集圖像的同時(shí)進(jìn)行零件的3D重構(gòu),實(shí)現(xiàn)快速同步進(jìn)程測量。測量軟件WinWerth®保證了整個(gè)測量過程中測量結(jié)果的可追溯性。WERTH是一家擁有對(duì)CT設(shè)備校準(zhǔn)資質(zhì)的DAkkS實(shí)驗(yàn)室證書的生產(chǎn)廠家,保證了測量結(jié)果的可靠性以及可追溯性。推出符合精度標(biāo)準(zhǔn)的緊湊且價(jià)優(yōu)的設(shè)備??焖倩貓?bào)及低廉的維護(hù)成本可以使得大量采購帶有CT傳感器的TomoScope®XS用于不同零件的測量成為可能。...
說明:
插頭連接器之類的電子元器件的尺寸越來越小,這對(duì)制造業(yè)提出了更大的挑戰(zhàn)。ERNI電子采用三維數(shù)控多傳感器測量設(shè)備來確保其制造工藝,其中一臺(tái)設(shè)備帶有X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)?,F(xiàn)代測量技術(shù)能夠快速地實(shí)現(xiàn)工藝驗(yàn)證?!疚磥頊y量學(xué)】多傳感器系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)的基礎(chǔ) ERNI電子引入了“零缺陷生產(chǎn)“技術(shù)。該公司在斯圖加特附近的阿德爾貝格生產(chǎn)大量各種電路板連接器和I/O插頭連接器,背板,連接器電纜,外殼,系統(tǒng)和工具。許多產(chǎn)品通過供應(yīng)商進(jìn)入汽車工業(yè)領(lǐng)域,在那里要求已安裝的組件具有特別高的品質(zhì)。 因此,質(zhì)保部的配套設(shè)施是名列前茅的。在測量實(shí)驗(yàn)室里,除了各種三維數(shù)控多傳感器測量機(jī)以外,還有一臺(tái)帶有X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描傳感器的三坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)。為了讓工人能夠迅速檢查他們的工作成果,在生產(chǎn)車間里安置了一臺(tái)復(fù)合式三坐標(biāo)測量機(jī)。 質(zhì)量管理部負(fù)責(zé)人OliverJehlitschke解釋說:“汽車工業(yè)總是希望增加電路板的封裝密度。這意味著,我們要不斷開發(fā)更小的插頭連接器。因此,我們必須不斷調(diào)整生產(chǎn)和測量條件。” 他所在部門的長期指導(dǎo)者和合作伙伴是Werth。這個(gè)位于吉森的公司是現(xiàn)代三坐標(biāo)測量界的優(yōu)良供應(yīng)商。其專門從事生產(chǎn)帶有光學(xué)傳感器和X射線斷層掃描技術(shù)的三坐標(biāo)測量機(jī),以及復(fù)合式三坐標(biāo)測量機(jī)。早在1996年,ERNI就引進(jìn)了一臺(tái)緊湊型設(shè)備VideoCheckIP250,用于插頭連接器、外殼和打孔帶的光學(xué)測量。如今,它已被一臺(tái)更新、更準(zhǔn)確的同類型測量機(jī)所替代。對(duì)于較大的零件,ERNI在1999年投入使用了VideoCheckFB固定橋式測量機(jī),它的測量范圍是400×400×200mm。它配備了遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭,以及獲得Werth光纖探針和傳統(tǒng)的3D觸發(fā)式探針。 計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)使三坐標(biāo)測量機(jī)更加完善 ERNI測量實(shí)驗(yàn)室的一大亮點(diǎn)是自2008年以來就被投入使用的WerthTomoSco...