四合一測量技術(shù)的革新者
瑞士丹青Sensofar的四合一方法只需點(diǎn)擊一次，系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測量任務(wù)的最佳技術(shù)。在S neox傳感器頭中配置四種測量技術(shù)——共聚焦，干涉，AI多焦面疊加，這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻(xiàn)，并有助于最大限度地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn)。S neox是所有實(shí)驗(yàn)室的理想之選，適用范圍廣泛。
AI多焦面疊加
主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)基于Sensofar在共聚焦和干涉3D測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識(shí)，專門設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測量。通過使用主動(dòng)照明，即使在光學(xué)平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù)，這一點(diǎn)已經(jīng)得到了改進(jìn)。該技術(shù)的亮點(diǎn)包括高斜率表面（高達(dá)86°），最快的速度（3mm/s）和較大的垂直范圍測量。
共聚焦
共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供最高的橫向分辨率，最高可達(dá)0.15μm水平分辨率，空間采樣可減少到0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。高達(dá)NA（0.95）和放大倍率（150X）的物鏡可用于測量局部斜率超過70°的光滑表面。對(duì)于粗糙表面，最高可允許86°。獨(dú)家的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性。
干涉
PSI 相移干涉法，可以用于測量亞埃分辨率的高度光滑和連續(xù)表面的高度?？梢允褂脴O低的放大率（2.5X）測量具有相同高度分辨率的大視場。
CSI 相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，達(dá)到1nm的高度分辨率。
薄膜
薄膜測量技術(shù)快速、準(zhǔn)確、無損地測量光學(xué)透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較，對(duì)層厚進(jìn)行修改，直到找到最佳擬合?？梢栽诓坏揭幻腌姷臅r(shí)間內(nèi)測量出50nm到1.5μm的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，最小可低至0.5μm，最高可達(dá)40μm。
